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河北神通光电科技有限公司是中国电子科技集团第十三研究所投资兴办的高科技企业，主要从事机半导体设备的研制和生产，依托13所雄厚的技术势力，良好的配套试验环境，领先行业的制造工艺，可以半导体生产、研制提供个性化的生产设备。
13所神通公司有40多年生产半导体设备的历史，在充分吸收国内外先进技术的基础上，联合所内外工艺人员开发了多种半导体工艺设备。并多次获得国家级、部级科学进步奖。
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等离子清洗机
等离子清洗机是用于半导体芯片清洗的专用设备，配进口氮气枪、喷淋水枪，可选配清洗槽、喷淋清洗、三级清洗、恒温腐蚀槽等模块。等离子清洗机采用进口NPP防腐型结构，是半导体设备清洗工艺的理想设备。可提供2-6口寸晶片的清洗、腐蚀、显影成套设备等.离子清洗机广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。等离子清洗机有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于高科技生产单位的以下场合:
半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、在线生产、微小产品、医疗科学、消毒杀菌、纺织品处理?、半导体行业、塑料橡胶行业.
等离子清洗机主要技术指标
整机尺寸： 1200*850*1800（mm）
清洗槽尺寸： 200*250*200（mm）
喷淋清洗槽尺寸： 300*250*200（mm）
三级清洗槽尺寸：200*200*200（mm）
以上指标可按用户要求定做
等离子清洗机腐蚀槽使用温度范围
NPP槽：室温 -80℃
聚四氟乙烯槽：室温 -200℃
石英槽：室温 -220℃ |
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