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河北神通光电科技有限公司是中国电子科技集团第十三研究所投资兴办的高科技企业,主要从事机半导体设备的研制和生产,依托13所雄厚的技术势力,良好的配套试验环境,领先行业的制造工艺,可以半导体生产、研制提供个性化的生产设备。
13所神通公司有40多年生产半导体设备的历史,在充分吸收国内外先进技术的基础上,联合所内外工艺人员开发了多种半导体工艺设备。并多次获得国家级、部级科学进步奖。
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等离子清洗机
等离子清洗机是用于半导体芯片清洗的专用设备,配进口氮气枪、喷淋水枪,可选配清洗槽、喷淋清洗、三级清洗、恒温腐蚀槽等模块。等离子清洗机采用进口NPP防腐型结构,是半导体设备清洗工艺的理想设备。可提供2-6口寸晶片的清洗、腐蚀、显影成套设备等.离子清洗机广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。等离子清洗机有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于高科技生产单位的以下场合:
半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、在线生产、微小产品、医疗科学、消毒杀菌、纺织品处理?、半导体行业、塑料橡胶行业.
PDC200/210型等离子清洗机
本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。桌台式,具有高性能,力求操作简便,快捷,可显示数据。广泛应用于以电子材料为中心的各个行业中。用于CSP?BGA?COB基板的等离子处理消除有机膜,金属酸化膜用于印刷电路板,干式清洗界面活性处理
PCB等离子清洗机
外形尺寸:* W600 mm × H2200 mm × D800mm
真空舱规格:* W400 mm × H400 mm × D625 mm
舱体容量:* 约 100升
处理气体:* MFC三气体通路
射频发生器:* 40kHz/0-2500 W射频发生器 ,功率连续可调,自动匹配
* 可选装13.56MHz或2.45GHz射频发生器
舱体结构:
* 分层(最多到10层)或旋转圆筒(下图)
控制系统:* 计算机(PC)控制.
大气/常压等离子清洗机 大气/常压等离子清洗机
大气等离子清洗机PlasmaBeam主要适用于对各种不同表面的局部处理(清洗、活化)。 ? 有机聚合物 ? 金属 ? 陶瓷 ? 玻璃 ? 混合材料 PlasmaBeam等离子清洗机可以通过远程控制并且可以安装在现有的自动化生产线上。 PlasmaBeam–大气等离子清洗机主要应用于表面清洗和表面活化。 ? 在线生产 ? 微小产品 ? 医疗科学 ? 消毒杀菌 ? 研究和发展 ? 考古学 ? 纺织品处理 ? 半导体行业 ? 塑料橡胶行业
FEMTO型等离子清洗机
操作简便的清洗机
* 反应舱 ? 100mm × 270 mm, 水平 (2 升)
1不锈钢反应舱体
2,40KHz 射频发生器
3高效针孔电极
4,铜气体管、气体流量计、 针阀
5,使用气体流量计和针阀控制气体
6,半自动控制功率0-100 W连续可调
7自动阻抗匹配8,自由设置参数:处理时间、功率、气体、压力 9,安全保护功能:真空触发、舱门锁 10电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱
11 规格:345 mm(W)×220 mm(H)× 420 mm(D) 重量 20 kg (不含真空泵)
* 电源 220V/50Hz
* 莱宝 2级真空泵 Type S1.5
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